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淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應(yīng)用

點(diǎn)擊次數(shù):1400  更新時(shí)間:2019-09-27
   淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應(yīng)用
  激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一,它以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光干涉儀除了可以用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作,可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
  未來(lái),激光干涉儀可從光源、探測(cè)器、信號(hào)處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展,從測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性、性,以及測(cè)量?jī)x器的便攜性等,不斷改善激光干涉儀的各項(xiàng)性能。
  下面簡(jiǎn)要介紹一下激光干涉儀在幾個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用情況。
  1、數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用
  隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)已經(jīng)成為目前*的、高精度的檢測(cè)方法。激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測(cè)量、誤差修正和控制,其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù),位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國(guó)機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)和替代的。
  2、位移傳感器
  激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì),其特點(diǎn)是測(cè)量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測(cè)量。在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè),從而形成對(duì)比,位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與激光干涉儀對(duì)定位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比,得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
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