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激光干涉儀配置選型注意事項(xiàng)

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  • 平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
  • 平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可
  • 短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線(xiàn)度鏡組+垂直度鏡組
  • 長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組+垂直度鏡組
  • 直線(xiàn)度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量

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